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产品详情
***快速、***精准的MFC
加强了拥有EtherCAT®的速度
型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126
针对半导体工艺的完美性能
- 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力
- 超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准，同时减少维修的需求
- 改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏，从而改善***片晶圆效应
- 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度
特点
- 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性
- 响应稳定时间: 300毫秒 - <1秒
- ***流量可达到300 slpm
- 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
- 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性
- MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表，几千种气体和量程的组合，无需把MFC从管路上拆除，也不会影响精度
- 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装，监测和故障排查
- GF120 安全传输系统(SDS®)是布鲁克斯***进的低压降质量流量控制计，用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输
优势
- 超常的性能
- 快速反应时间改进应用效率
- 灵活的拓扑
- 几乎无限的网络拓扑可能
- 简单、坚固
- 配置，诊断以及维护
- 负担能力
- 标准的以太网端口
应用
- 半导体刻蚀设备
- 薄膜化学气相沉积系统 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
- 物理气相沉积 (PVD) 系统
- 外延工艺系统
BROOKS GF100
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